產(chǎn)品介紹
五軸高低溫樣品臺主要用于MBE、LT - STM等薄膜制備及表征系統(tǒng)中?？蓪崿F(xiàn)樣品五軸運動，樣品高溫可到1000℃，樣品低溫可小于100 K。
主要技術(shù)參數(shù)：
1）五軸運動：X Y ±12.5 m 行程，手動驅(qū)動，精度 0.002 mm；Z 500 mm行程（可定制），電動驅(qū)動，精度0.01 m m；Polar ± 180°旋轉(zhuǎn)；Azimuthal 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
2）五軸運動均可選擇手動或電動驅(qū)動
3）適用于旗型樣品托
4）液氮低溫制冷：最低溫度＜100K（樣品托溫度）
5）電子束加熱溫度范圍：室溫-1000℃（樣品托溫度）
6）電阻加熱溫度范圍：室溫-800℃（樣品托溫度）
7） 直流樣品臺（僅四軸運動）：閃規(guī)直流加熱
8） 真空漏率：＜1x10-12 Pa.m3 /s
9）最高烘烤溫度：150 ℃
1）使用真空范圍：超高真空環(huán)境
（備注：液氮低溫制冷、電子束加熱、電阻加熱、直流樣品臺為可選功能，可根據(jù)需求合理組合，可定制其他功能。）
測試數(shù)據(jù)：
樣品臺加熱升溫曲線
液氮制冷樣品臺降溫曲線
