產(chǎn)品介紹
超高真空排氣臺(tái)主要用于器件的排氣，SSI在超高真空排氣臺(tái)行業(yè)擁有多年的項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，可以根據(jù)客戶的需求定制工藝過程。
主要技術(shù)參數(shù)：
1、系統(tǒng)極限真空度高，系統(tǒng)的極限真空可達(dá)10-8Pa 量級(jí)。
2、整個(gè)真空抽氣系統(tǒng)和真空測量系統(tǒng)采用進(jìn)口配置，性能穩(wěn)定，可靠性高，全無油設(shè)計(jì)，無油氣污染。
3、多個(gè)抽氣工位（可以根據(jù)客戶的要求定制對(duì)接接頭），生產(chǎn)效率高。
4、觸摸屏顯示，方便簡單；電控參數(shù)可任意設(shè)定，便于用戶數(shù)據(jù)儲(chǔ)存及工藝調(diào)試。
