產(chǎn)品介紹
RDC（Radial Distribution Center）真空互聯(lián)系統(tǒng)非常適用于需要互聯(lián)的工作站數(shù)量不多的情況（比如3-5個(gè)，最多8個(gè)），布局一般是各工作站環(huán)繞在RDC的四周，形成一個(gè)Cluster原位系統(tǒng)。RDC作為樣品傳輸?shù)闹行臉屑~，通過其自帶的磁力耦合機(jī)械手的旋轉(zhuǎn)及伸縮功能將樣品在各工作站之間來回轉(zhuǎn)運(yùn)。
SSI的RDC真空互聯(lián)特點(diǎn)：
1）磁力驅(qū)動(dòng)機(jī)械手：2維運(yùn)動(dòng)（旋轉(zhuǎn)+直線）和3維運(yùn)動(dòng)（上下+旋轉(zhuǎn)+直線）可選
2）驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)驅(qū)動(dòng)和伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)可選
3）機(jī)械臂伸出距離：最小760mm，可定制
4）機(jī)械臂定位精度：0.2mm
5）極限真空：10-11Torr 量級
6）系統(tǒng)配泵：離子泵+TSP和離子泵+NEG可選
7）工作站接口數(shù)量及規(guī)格：8*CF100或定制
8）觀察視窗數(shù)量級規(guī)格：4*CF150
9）系統(tǒng)烘烤方式：雙熱風(fēng)循環(huán)，最高烘烤溫度200℃
